檢漏測試儀連接到個別用來容納需要被測試的包裝的測試腔。包裝被置于要被抽真空的實驗腔內。雙傳感器不僅用來監測真空度同樣也監測預定測試時間段中的真空變化。真空和真空差壓的變化暗示了當前包裝中存在泄漏和缺陷。項測試的靈敏度取決于傳感器的靈敏度、包裝的形式、包裝測試時的夾具以及測試中的關鍵參數:時間和壓力。
測試原理
真空度檢測儀采用磁控放電法行測量。將真空開關滅弧室的兩觸頭拉開定的距離,施加電場脈沖壓,將滅弧室置于螺線管圈內或將新型電磁線圈置于滅弧室外側,向線圈通以大電,從而在滅弧室內產生與壓同步的脈沖磁場。這樣,在脈沖強磁場和強電場的作用下,滅弧室中的帶電離子作螺旋運動,并與殘余氣體分子發生碰撞電離,所產生的離子電與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于不同的真空管型號(管型),由于其結構不同,在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下,離子電的大小也不相同。通過實驗可以標定出各種管型的真空度與離子電間的對應關系曲線。當測知離子電后,就可以通過查詢該管型的離子電真空度曲線獲得該管型的真空度。
在常規磁控放電測試滅弧室的真空度時,為了提其測試靈敏度,需從斷路器上卸下滅弧室,并置于螺線管線管內。這樣來,滅弧室在重新裝回斷路器時需要調整機械參數,作量很大并需業人員。而使用新型磁控線圈可以從側面包圍滅弧室,這樣就不拆卸滅弧室。而采用單片微機行同步控制與數據采集處理,提了滅弧室真空度的現場測試靈敏度。
真空度測試儀將滅弧室的兩觸頭拉開定的開距,施加脈沖壓,將電磁線圈環繞于滅弧室的外側,向線圈通以大電,從而在滅弧室內產生與壓同步的脈沖磁場,這樣在脈沖磁場的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運動,并與殘余氣體分子發生碰撞電離,所產生的離子電與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電的大小也不相同,當測知離子電后,通過離子電真空度曲線,由計算機自動成真空度的計算,并顯示真空度值。
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